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Mechanical cross-characterisation of sputtered inconel thin films for MEMS applications

G. Fleury, C. Malhaire, C. Populaire, Mireille Verdier, Arnaud Devos, J.L. Charvet, J.P. Polizzi

Sensors and Actuators B: Chemical, 2007, 126 (1), pp.48-51. ⟨10.1016/j.snb.2006.10.038⟩. ⟨hal-00293917⟩